thực đơn
đóng
Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

ĐỨNG ĐẦU ＞ Thiết bị phủ hoàn toàn tự động ＞ Thiết bị phủ ＞ Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

/sản phẩm/máy-phân-bón-tự-động/máy-phân-bón-bán ...

Các giải pháp tích hợp mở ra kỷ nguyên mới trong xử lý wafer
Phần mềm căn chỉnh wafer ánh xạ lại kết quả kiểm tra sản xuất và fillet (tuân thủ SECS/GEM)

Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH image-1

Về dịch vụ sau bán hàng

Điểm
・Hỗ trợ các quy trình bán dẫn tiên tiến (tích hợp chip WLP/chiplet/chip không đồng nhất)
・Có thể áp dụng cho tiêu chuẩn cao nhất của ngành KOZ
・Có thể sản xuất hoàn toàn tự động khi kết nối với EFEM
Cập nhật
・Được trang bị chức năng điều khiển nhiều đầu độc lập và chức năng hiệu chỉnh trọng lượng lớp phủ tự động.
・Giao diện người dùng mới nhất góp phần tiết kiệm nhân công.

・Căn chỉnh tốc độ cao với hoạt động liên tục, không ngừng:
　Chức năng Mu SKY Capture
・Đo chiều cao với hoạt động liên tục không ngừng:
　Chức năng cảm biến Mu SKY
・Tự động hóa quản lý khối lượng ứng dụng: Chức năng DVM
・Ngăn ngừa khuyết tật hàng loạt trước khi chúng xảy ra: Chức năng AFC
・Tương thích với wafer và FOUP
・Chức năng ánh xạ wafer
・Ánh xạ lại kết quả (tương thích SECSGEM) ※lựa chọn

EFEM (Mô-đun thiết bị đầu cuối) là gì?
EFEM là một thiết bị mô-đun dùng để nạp và dỡ wafer. Chức năng của nó là tự động lấy wafer ra khỏi các thùng chứa gọi là FOUP (Front Opening Unified Pods) hoặc khay wafer, nơi lưu trữ wafer, và vận chuyển chúng đến thiết bị xử lý trong khi vẫn duy trì tiêu chuẩn phòng sạch.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

tên
BẬC THẦY PHÂN PHỐI
Người mẫu
FAD5700-WH
Phương pháp kiểm soát
Điều khiển PC/PLC (tuân thủ SMEMA)

Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây
Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Liên hệ với chúng tôi tại đây

Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Qua điện thoại
Liên hệ với chúng tôi tại đây

Thông tin liên lạc của từng văn phòng có tại đây

Từ hình thức
Liên hệ với chúng tôi tại đây

Liên hệ với chúng tôi tại đây
Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Lựa chọn sản phẩm, thử nghiệm lớp phủ, thuê máy demo, ước tính, ngày giao hàng, v.v.

Xem xét giới thiệu, thử nghiệm ứng dụng, yêu cầu thuê máy demo

Sách hướng dẫn, thông số kỹ thuật, sơ đồ, SDS, RoHS2, v.v.

Yêu cầu thông tin kỹ thuật

Nhấp vào đây để xem giấy chứng nhận khả năng áp dụng

Tải xuống quyết định về khả năng áp dụng

Đối với các yêu cầu khác, hãy nhấp vào đây

Các yêu cầu khác
Trở lại đầu trang