thực đơn
đóng
Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

ĐỨNG ĐẦU ＞ Thiết bị phủ hoàn toàn tự động ＞ Thiết bị phủ ＞ Máy chiết rót cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorMáy phân phối cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

Các giải pháp tích hợp mở ra kỷ nguyên mới trong xử lý wafer
Lập bản đồ lại kết quả sản xuất và kiểm tra fillet bằng phần mềm căn chỉnh wafer (tuân thủ SECS/GEM)

Hình ảnh 1 của máy pha chế cao cấp tương thích EFEM FAD5700-WH

Về dịch vụ sau bán hàng

Điểm
・Tương thích với các quy trình bán dẫn tiên tiến (tích hợp chip WLP/chiplet/chip không đồng nhất)
・Có thể áp dụng cho tiêu chuẩn cao nhất của ngành KOZ
・Có thể sản xuất hoàn toàn tự động khi kết nối với EFEM
Cập nhật
・Được trang bị chức năng điều khiển nhiều đầu độc lập và chức năng hiệu chỉnh trọng lượng lớp phủ tự động.
・Giao diện người dùng mới nhất góp phần tiết kiệm nhân công.

・Căn chỉnh tốc độ cao với hoạt động liên tục không ngừng:
　Chức năng Mu SKY Capture
・Đo chiều cao trong chuyển động liên tục không dừng:
　Chức năng cảm biến Mu SKY
・Tự động quản lý khối lượng ứng dụng: Chức năng DVM
・Ngăn ngừa khuyết tật khối lượng: Chức năng AFC
・Tương thích với wafer và FOUP
・Chức năng ánh xạ wafer
・Kết quả ánh xạ lại (tương thích với SECSGEM) ※lựa chọn

EFEM (Mô-đun thiết bị đầu cuối) là gì?
EFEM là thiết bị mô-đun dùng để nạp và tháo các tấm wafer. Vai trò của nó là tự động lấy các tấm wafer ra khỏi các Pod hợp nhất mở phía trước (FOUP) hoặc các hộp chứa gọi là hộp wafer để lưu trữ chúng và vận chuyển chúng đến thiết bị xử lý trong khi vẫn duy trì các tiêu chuẩn phòng sạch.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT Tóm tắt thông số kỹ thuật

tên
PHÂN PHỐI MASTER
Người mẫu
FAD5700-WH
Phương pháp kiểm soát
Điều khiển PC/PLC (tuân thủ SMEMA)