thực đơn
đóng
Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH

Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH

ĐỨNG ĐẦU ＞ Thiết bị phủ hoàn toàn tự động ＞ Thiết bị phủ ＞ Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH

/products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorMáy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH

Giải pháp quản lý wafer có độ chính xác cao
Phần mềm căn chỉnh wafer ánh xạ lại kết quả kiểm tra sản xuất và fillet (tuân thủ SECS/GEM)

Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động tương thích EFEM FAD5100S-WH hình ảnh-1

Về dịch vụ sau bán hàng

・ Ứng dụng tốc độ cao với hoạt động liên tục không ngừng
・ Căn chỉnh tốc độ cao với hoạt động liên tục, không ngừng:
　Chức năng Mu SKY Capture
・ Tự động hóa quản lý khối lượng ứng dụng: Chức năng DVM
・ Tạo thành mẫu phủ "đường lá" lý tưởng để tránh hiện tượng rỗng: Hàm MCD [PAT.P]
・ Ngăn ngừa khuyết tật hàng loạt trước khi chúng xảy ra: Chức năng AFC
・Được trang bị chức năng lập bản đồ wafer
・Có thể sản xuất hoàn toàn tự động khi kết nối với EFEM
・Tương thích với wafer và FOUP
・Chức năng ánh xạ wafer
・Ánh xạ lại kết quả (tương thích SECSGEM) ※lựa chọn

EFEM (Mô-đun thiết bị đầu cuối) là gì?
EFEM là một thiết bị mô-đun dùng để nạp và dỡ wafer. Chức năng của nó là tự động lấy wafer ra khỏi các thùng chứa gọi là FOUP (Front Opening Unified Pods) hoặc khay wafer, nơi lưu trữ wafer, và vận chuyển chúng đến thiết bị xử lý trong khi vẫn duy trì tiêu chuẩn phòng sạch.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

tên
Máy phân phối wafer hoàn toàn tự động FAD5100S-WH
Người mẫu
FAD5100S-WH
Phương pháp kiểm soát
Điều khiển PC/PLC (tuân thủ SMEMA)
Phôi gia công áp dụng
Tấm wafer 12", tấm wafer 8"

Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây
Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Liên hệ với chúng tôi tại đây

Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Qua điện thoại
Liên hệ với chúng tôi tại đây

Thông tin liên lạc của từng văn phòng có tại đây

Từ hình thức
Liên hệ với chúng tôi tại đây

Liên hệ với chúng tôi tại đây
Để biết thêm thông tin, vui lòng nhấp vào đây

Lựa chọn sản phẩm, thử nghiệm lớp phủ, thuê máy demo, ước tính, ngày giao hàng, v.v.

Xem xét giới thiệu, thử nghiệm ứng dụng, yêu cầu thuê máy demo

Sách hướng dẫn, thông số kỹ thuật, sơ đồ, SDS, RoHS2, v.v.

Yêu cầu thông tin kỹ thuật

Nhấp vào đây để xem giấy chứng nhận khả năng áp dụng

Tải xuống quyết định về khả năng áp dụng

Đối với các yêu cầu khác, hãy nhấp vào đây

Các yêu cầu khác
Trở lại đầu trang