/sản phẩm/máy phân phối hoàn toàn tự động/bán dẫnMáy phân phối mức wafer hoàn toàn tự động FAD5100S-WH

Một sự phát triển của dòng FAD5100 nhằm hiện thực hóa các quy trình phụ trợ tiên tiến.
Tự động cấu hình sắp xếp thiết bị trên wafer. Điều này góp phần làm giảm đáng kể thời gian lập trình.

・ Lớp phủ tốc độ cao với khả năng hoạt động liên tục không ngừng: Chức năng phân phối nhanh.
・ Căn chỉnh tốc độ cao với hoạt động liên tục không ngừng: Chức năng căn chỉnh nhanh.
・ Tự động quản lý số lượng ứng dụng: Chức năng DVM.
・ Tạo thành mẫu lớp phủ lý tưởng “đường lá” để tránh các khoảng trống: Chức năng MCD [PAT.P].
・ Ngăn ngừa khuyết tật khối lượng: Chức năng AFC.
・Được trang bị chức năng lập bản đồ wafer.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT Tóm tắt thông số kỹ thuật

tên
Máy phân phối mức wafer hoàn toàn tự động FAD5100S-WH
Người mẫu
FAD5100S-WH
Phương pháp điều khiển
Điều khiển PC/PLC (tuân thủ SMEMA)
Công việc áp dụng
tấm wafer 12", tấm wafer 8"

Bấm vào đây để yêu cầu
Bấm vào đây để yêu cầu

Bấm vào đây để yêu cầu

Bấm vào đây để yêu cầu

qua điện thoại
Bấm vào đây để yêu cầu

từ mẫu
Bấm vào đây để yêu cầu

Bấm vào đây để yêu cầu

Lựa chọn sản phẩm, thử nghiệm lớp phủ/cho thuê máy trình diễn, báo giá/ngày giao hàng, v.v.

Hướng dẫn sử dụng, thông số kỹ thuật, bản vẽ bên ngoài, SDS, RoHS2, v.v.

Bấm vào đây để xem Mẫu xác định khả năng áp dụng

Bấm vào đây để yêu cầu khác